Российские ученые создали технологию производства микросхем с нанометровой топологией. Она в 3000 раз быстрее аналога
Российские ученые завершили научно-исследовательские работы по созданию отечественного многолучевого электронного литографа для производства передовых микросхем. Установка превосходит традиционные однолучевые системы по скорости в 3000 раз и позволит выпускать чипы с технологическими нормами до нескольких нанометров.