Чистота наночастиц для точной обработки: в Нижнем Новгороде подготовили материал для микроэлектроники

Учёные Нижегородского государственного университета имени Лобачевского разработали технологию получения высокочистого нанопорошка диоксида кремния для использования в абразивных суспензиях в микроэлектронике.